中图仪器SJ6000激光干涉仪快速校准导轨运动精度

中图仪器SJ6000激光干涉仪基于激光多普勒原理，采用双频激光外差干涉技术和光纤传输技术，它可测量所有可转换为位移量的物理量，比如位移、振动、速度、加速度、形变等等。*小可感知1 nm（十亿分之1 m），可以测量百米长的零件，且测量70 m长的导轨误差仅为几微米，主要用来检测生产机床时的各种精度误差，以便于补偿校准。

产品参数

产品型号：SJ6000

产品名称：SJ6000激光干涉仪

稳频方式：双频激光热稳频

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

技术参数

测量方式：单频

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：5-10分钟

工作温度范围：0~40℃

环境温度范围：0~40℃

存储温度范围：-20℃~70℃

空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

空气湿度传感器：±6% (0-95%)

大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

测量距离：0-40m

测量精度：0.5ppm (0-40℃)

测量分辨率：1nm

测量zui大速度：4m/sec

产品功能

中图仪器SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量速度快、zui高测速下分辨率高、测量范围大等优点。

1.通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。

2.在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。

3.具有*高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。

4.可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。

5.安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

使用说明

1、 必须定人保管，机加技术组人员专人，专人送检，他人不得随意动用，以防损坏，降低精度。 

2、 要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。 

3、 对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动，安置仪器前应检查三脚架的牢固性，整个作业过程中工作人员不得离开仪器，防止意外发生。 

4、 应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量，此时检测结果将收到很大的影响。 

5、 中图所配用的笔记本为笔记本，该笔记本不得外借，也不能安装任何其他软件，防止软件冲突和病毒，保障测量数据的准确，以防测量数据丢失。 

6、 测量人员在拿取干涉仪之前，需先填写使用申请单，填写申请表后，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是否良好。然后再得到部门签字后，方可使用。对其他部门人员如借用，需填写借用干涉仪使用申请单，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是否良好。然后再得到部门签字后，方可借用。当干涉仪使用后，将要存库时，负责人必须点清器件，且所有器件良好，此时才能将干涉仪入库备案。 

7、 负责人要每月对的器件进行清点，并查看是否有损坏、磨损等异常情况，将检查报告予以备案。

产品用途

1、中图仪器SJ6000激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理数据并输出误差曲线，为数控机床的误差，修正提供可靠依据，现场使用尤其方便。

2、配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。

3、是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。

4、具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。