青岛半导体厂处理废气有哪些办法

低温等离子体

　　低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

　　低温等离子体空气净化设备能够显著治理的污染有：VOC、恶臭气体、异味气体、油烟、粉尘，也可用于消毒杀菌。低温等离子体技术是一种全新的净化过程，不需要任何添加剂、不产生废水、废渣，不会导致二次污染。

低温等离子废气处理设备运行多久比较好？

答：不一定。因为低温等离子体在处理聚合物表面发生的交联、化学改性、刻蚀主要是因为等离子体使聚合物表层分子发生断键生成大量的自由基。

实验说明，随着等离子处理时间的延长、放电功率增大,生成的自由基强度增加，达到大点后进入一种动态平衡;放电压力在某一定值时,自由基强度出现大值，即在特定条件下低温等离子体对聚合物表面反应的程度深