电子元件厂废气怎么治理

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电子厂中的VOCs种类常见的有30多种，主要来自半导体器件、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用溶剂型涂料、清洗工艺使用有机脱脂剂、脱水剂，感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂，去光刻胶类化合物则属于高沸点的硫类和胺类之有机溶剂。那么电子厂VOCs废气处理措施有哪些呢？下面丰绿环保废气处理厂家就来为大家进行介绍。

电子工业是VOCs排放的主要行业之一，电子工业废气VOCs排放种类多，组分复杂。一般来说，废气排放中风量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点。排放VOCs废气中还含有酸性气体、碱性气体等。

现在有的VOCs控制技术可以简单分为两大类：一类称为破坏性方法，包括氧化法和生物法，氧化法又可分为直接燃烧法和催化焚烧法;另一类称为回收性方法，常用的回收方法有吸收法、吸附法、浓缩法和膜分离法;正在研究开发的方法还有等离子净化技术和光催化氧化技术。

针对电子行业VOCs排放特点采用相应末端治理技术，主要还是吸附法、焚烧法，吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体，吸附剂选择性高，活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物有较强的吸附能力，一般可净化低浓度VOCs，净化效率可达到90%以上。沸石浓缩转轮+焚烧方法使用的浓缩轮是一个装满吸附剂的旋转轮，废气由旋转轮的上游侧进入浓缩轮的吸附区，使VOCs得到浓缩，再经脱附燃烧处理，去除效率可在98%。

对于半导体、TFT—LCD和LED、PCB等企业，有机废气一般还含有酸性气体、碱性气体和一些有体，治理技术一般采用组合方式，前端通过喷淋塔淋洗，后接沸石浓缩转轮+焚烧方法，对电子终端产品企业，多采用活性炭吸附，进行“三防”喷涂需增加除漆雾装置(水帘或高密度纤维过滤)。