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供应美国VIEW MicroLine 300影像测量仪

2025-07-08 16:48:14发布   信息编号:2386822  
公司: 东莞市天测光学设备有限公司
联系人: 张人雷(销售人员)
所在地: 广东 - 东莞,广东省 东莞市 中堂镇北王西路华迅科技园8栋10
价格: 面议
联系: 微信:RexTritec

电话:0769-33215215 手机:13818768973

MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。

主要技术参数:
    测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25
    视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴聚焦范围:25 mm
    视场内测量范围:0.5um400um;
    视场内测量重复性(100x 物镜):  晶圆上0.010um(1); 掩模板上0.005um(1);  
                                                   
    承重:2kg
    标配镜头10x,可选镜头:5X, 20X, 50X, 100X
 
MicroLineTM 300是一款高性能测量晶圆、光罩、MEMS和其他微加工设备等关键尺寸的自动化测量系统。该系统配备了高质量光学显微镜和精密移动平台,可对200mm的晶圆上0.5m到400m的特征尺寸进行全自动的精密视场测量。
n  200 x200mm精密X-Y平台
n  基于视觉的自动聚焦获得影像质量
n  自动照明可编程光强
n  用于测量透明层、不规则边缘的线、厚膜等的强劲性能
n  完全可编程的序列,包括自动聚焦和关键尺寸测量
n  电动的6目物镜转换器,软件控制
n  可选的透射照明

技术规格:
- 测量行程: 200 x 200 x25mm(XYZ)
- 平台运行: 交叉滚轴手动同轴定位和快速释放
- 视场内的测量精度: 0.010m (用100x物镜)
- 特征尺寸: 视场内0.5m - 400m
- FOV测量重复性: 0.010m on wafers (用100x物镜)
0.005m on photomasks (用100x物镜)
- 照明: 石英卤素灯, 反射光
       自动照明
- 低噪音CCD VGA格式摄像头
- 图像处理60帧每秒

MicroLine 300的典型应用包括:
l  晶圆
l  光罩
l  MEMS
l  微型组件

测量类型:
 关键尺寸:
线宽  Linewidth
节距  Pitch
间隙  Spacing

Overlay:
Multi-layer registration
Box in box
Circle
Edge roughness
Butting error

供应美国VIEW MicroLine 300影像测量仪

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