是德科技E5270B 精密型半导体分析仪

电流－电压测量功能

0.1 fA – 1 A 和 0.5 µV – 200 V 精准测量范围

点测量和扫描测量功能

脉冲点测量和扫描测量，最小脉宽达 500 µs

ASU（自动传感和开关单元）可以与 HRSMU 配合使用，提供 0.1 fA 的测量分辨率和 SMU/AUX 路径切换

EasyEXPERT group+ 软件

可以在用户 PC 上提供表征环境

使用键盘和鼠标，通过直观的图形用户界面（GUI）进行操作

多种测量模式，快速设置和执行测量（应用测试、典型测试和快速测试）

图形显示和自动分析功能，能够生成数据并导入 Excel 和图像以便分析和报告

E5270B 硬件

测量模块拥有多达 8 个插槽，可配置，可升级

可选择高分辨率 SMU（HRSMU）、中等功率 SMU（MPSMU）和大功率 SMU（HPSMU）进行配置。HRSMU 支持选件 ASU

高分辨率和高速模数转换器（ADC）可以用于所有已安装的模块

主机中配备有源接地单元（GNDU），以施加 0 V 电压和吸收高达 4 A 的电流

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