扫描电子显微镜SEM检测测试

产品介绍：

扫描电子显微镜（SEM）是利用二次电子和背散射电子信号，通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器，随着科学技术水平的提高，其放大倍数可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大, 视野大, 成像立体效果好。此外, 扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合, 可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。

测试项目：

1：形貌、能谱点扫、能谱线扫、能谱面扫（mapping）

2：仪器放大倍数范围是100倍-20W倍，常规样品可以拍摄到8-10W倍，导电性不好或磁性样品大于8W倍可能会不清晰。
3：能谱：SEM能谱一般只能测C（含C）以后的元素，（B元素也能做，但是不准，不建议做）如果需要打能谱，需要备注好测试位置以及能谱打哪些元素，需要注意的是制样时待测元素不能与基底成分有重合，如果要测C元素，样品不要分散到含C的基底上，可以分散到硅片，锡纸上，如果要测Si元素，注意不要制样到硅片上。

测试要求：

(1)要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。保证测试人员安全；

(2)样品必须干燥，不含水分或有机挥发物；

(3)样品必须具有稳定的化学性质和物理性质，在高能电子束的辐照下保持成分稳定和形态不变；

(4)样品观察面应清洁，无污染物，同时观察面应尽量平整；

(5)样品必须具有良好的导电性和导热性，在电子束轰击下不易被分解，热稳定性高；

(6)磁性样品要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场的影响；

(7)样品可以是粉末、薄膜、块体，无论是表面还是新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以保持其原始的结构状态。

样品量的要求：粉末、液体、薄膜、块体均可测试，粉体样品大概10mg，块体样品要求长宽≤25px，厚度≤25px，样品质量不超过200g；混凝土，珊瑚沙，气凝胶等需要抽真空时间非常长的样品尺寸请尽可能直径≤5mm，厚度≤5mm；

(8)块体：直接用导电胶粘在样品台上测试，若需拍块体/薄膜截面，需明确截面制备方法，一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆断两种方式；薄膜或块状标记好要测试的面（正面和反面），制样方式有特殊需求请说明    

(9)液体：用移液枪取样品超声后的悬浊液，滴一滴于硅片或锡纸上，自然风干/红外灯烘干，烘干后将硅片或锡纸用导电胶粘在样品台上测试；液体常规滴到硅片上自然晾干或烘干测试（样品不能加热请提前说明）

(10)粉末：（1）直接用导电胶粘在样品台上测试（尽量薄且均匀的将样品粘在导电胶上，薄铺一层较好。）；（2）乙醇分散制样：取少量样品于离心管中，加入 一定量无水乙醇（或水），室温超声 5-10min，随后采用 （2）中液体的制样方式制样测试。（如需分散测试请提前说明）

注意事项：

非磁、磁性（弱磁、强磁）定义：含铁、钴、镍、锰等磁性元素均为磁性样品，吸铁石能吸起来为强磁，吸铁石吸不起来为弱磁。备注：磁性分硬磁和软磁，有些材料对外不表现磁性，但加磁场后容易磁化，受热后磁性增强。

电镜拍摄由于其特殊性，实验室老师会尽力拍摄，但没法保证一定会拍到您预期效果的图片，尤其磁性样品或者导电性差样品，请理解！实验室常规测试仪器放大倍数可达5-10万倍，但是实际效果跟样品情况关系密切，没法保证一定拍的到效果好的图片！