X射线光电子能谱仪（XPS）检测测试服务

X射线光电子能谱仪（XPS）检测测试服务

X射线光电子能谱仪（XPS）检测测试服务

X 射线光测和分析光电子动能大小与光电子强度的关系，确定样品中所含元素种类以及各元素化学态。Nexsa XPS 通过采用全自动化传输部件，实现单批次高通量样品的自动化测试分析，具有深度剖析功能，并采用微聚焦小光斑（最小 10 μm）实现微区成像与成分分析，可以检测分析微型器件，分析半导体材料或器件、粉末等固体样品的元素组成、每种元素的化学价态等信息。

XPS可以做的项目：常规全谱窄谱测试、俄歇谱、价带谱、深度溅射、MAPPING、角分辨。XPS测试的元素范围是Li-Cm，H、He元素不能测试，放射性元素请提前沟通。XPS数据分析可以等到元素的价态及半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号。无特殊说明，默认是使用单色化AlKa源（Mono AlKa）能量是1486.6eV。使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰，当有重叠谱峰的时候直接定量的结果不能参考。下方是常见的一些重叠谱峰的情况，解决方法是a.通过分峰拟合（这个是数据分析的内容）后再重新定量，b.测试其他轨道的峰，需要备注相应的轨道，默认是测试最强峰，c.如果是与部分元素的俄歇峰重叠，建议可以更换靶材试试，比如Mg靶

1， 粉末样品大于200目，粉末样品提供20-30mg，量少请用称量纸包好再装到管子里寄送。请勿用手触摸样品表面，会引入污染。制好样后请尽快密封，避免其他物质污染；块状/薄膜：长宽厚不超5*5*3mm。如果样品尺寸大于5*5*3mm，会按尺寸增加费用，超过尺寸提前联系！（对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记）；

2，测试说明：原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号！元素窄谱测试默认测最强峰轨道，H,He元素不可以测试，放射性选择请提前沟，元素Li-Mg测试1s轨道,Al-Zn测试2p轨道,Ga-Dy测试3d轨道,Ho-Lu测试4d轨道,Hf-Cm测试4f轨道。如有特殊要求请备注。

3，我们默认给测试的原始数据，全谱数据只有图谱，精细谱数据不矫正，（因不同的材料矫正方法不同），数据不平滑；

4，测试位置数量：默认是一个样品测试一个位置，需要测试多个位置按照多个样品计费。薄膜、块体等样品，若样品表面组分不均匀，会造成测试结果的差异；

5，特殊需求：样品含S、F、I、Br、Hg、Cl、P等元素单质不能测试或其他特殊需求请联系当地项目经理。2.送样前样品需充分干燥，否则影响仪器真空度。高分子样品在送样前应进行干燥处理。若含有高挥发性分子等请务必烘烤；样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统；样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。

6，样品包装要求：样品制备好以后，尽可能进行真空密封，减少样品吸附空气中的污染物，对于某些元素的测试，比如常见的C、O，会有影响。

7，XPS测试需要样品用导电胶固定在样品台上，所以测过的粉末样品没法回收，块体样品回收可能也受到污染或者破坏，建议尽量不回收样品；

8，靶材，默认测试使用Al靶。

1. 样品精细谱扫出谱峰？为什么全谱里没有呢？

全谱主要是用来定性分析的，设置参数的步长比较大，含量低的在全谱里扫不出谱峰。但是精细谱扫出谱峰就表示有该元素。

2. 每种元素的检测限一样么？

不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。

3. 怎么判断拟合是好是坏，是拟合了两个峰算好还是拟合了三个峰算好？

看波动大小，越小越好；还要看对应的物理意义。波动如下图所示。具体拟合几个峰，要参考样品本身的情况，以及拟合的贴合度，没有严格的界定哪个更好。

4.Mg靶与Al靶的区别？

能量不同，分辨率不同，Mg靶分辨率高，Al靶能量高。

5.XPS是否任何元素都可以测？

除H和He以外的元素。

6.XPS表征的是样品的表面还是体相？

表面10nm以内。

7.XPS中，价带谱是什么？ 

计算价带位置，及能带中电子态密度随能量的分部，

1.测试结果给出的是VGD格式和EXCEL格式测试结果。EXCEl格式文件用ORIGIN软件作图；VGD格式文件可以用Avantage分析软件打开。

2.测试结果给出的是原始文件SPE格式和EXCEL格式。EXCEL格式文件用Origin软件作图；SPE格式需要软件Multipak打开（但定量需要注意灵敏度因子)。

科研测试站也提供XPS数据分析服务！如果您需要XPS数据分析与作图服务，请联系工作人员。