半导体超纯水设备

随着半导体、电子行业的技术发展，对水处理设备的需求也越来越广泛，国内外超纯水设备的技术也获得了飞速的发展和广泛的应用，涌现出一大批超纯水处理方面领域的公司企业，。目前国内的超纯水制备行业正处于快速的发展阶段，但是相比国外的发展水平仍有很大的差距。随着国内半导体生产线的普及，超纯水制备设备的需求越来越大，目前国内的现代超纯水水质以电阻率、TOC（总有机碳）、细菌、微粒、DO（溶解氧）、可溶硅、离子和金属杂质等参数来表征，它们对器件影响大。因此，这就需要设计一台能够制备满足指标要求的浸没液超纯水处理系统，以保证光刻机的正常运行。超纯水处理系统是制备超纯水的自动控制系统，在光刻机中它作为浸没控制系统中的子模块，主要负责对超纯水的制备，对超纯水污染物质进行处理，并达到浸没供给液各项指标要求。