英鹏GYPEX离子溅射仪喷金仪

参数：

主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（标配）也可根据实际情况配备银靶、铂靶等

样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

样品台：可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定制样品台

靶材尺寸：Ф50mm

真空指示表：真空度：≤ 4X10-2 mbar

离子电流表：电流：100mA

定时器：数码 时间：0-360S

微型真空气阀：可连接φ3mm软管

可通入气体：多种

电压：-1600 DCV

机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）

输入电压：220V(可做110V),50HZ

产品说明：

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器。放入样品后可一键搞定；数字式计数器满足精准定时要求。特别适用对膜颗粒大小要求高的场发射扫描电子显微镜。具有成膜均匀，操作简单，所需时间短，过程可控等优点。可以使用Au，Pt，Cr、Al、Cu等靶材，配有高位定性的飞跃真空泵。

特点：

1.同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、银等），以达到更细颗粒的涂层。

2.一键式操作，使用方便。

3.真空保护可避免真空过低造成设备短路。

需要镀膜的样品：

1.电子束敏感的样品:

主要包括生物样品，塑料样品等。EM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；

2.非导电的样品:

由于样品不导电，其表面带有“电子陷阱”， 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应，可在样 品表面镀一层金属导电 层，镀层作为一个导电 通道，将充电电子从材 料表面转移走，消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时，溅射材料增加信 噪比，从而获得更好的成像质量。

3.新材料:非导电材料和半导体材料

·创新的低压直流冷态溅射镀膜，避免样品微纳结构热损伤。

·创新的回路控制保证了溅射电流始终固定不变及不受压力变化影响，保证均匀一致的膜厚和很优的镀膜效果。

·溅射电流可预设也可在镀膜过程中实时调节。

·操作容易快捷，自动或手动操作，靶材快速更换。