公司: | 深圳市中图仪器股份有限公司 |
联系人: | 罗健(宣传人员) |
所在地: | 广东 - 深圳,深圳市南山区西丽学苑大道南山智园B1栋2楼 |
价格: | 面议 |
联系: | 微信:CHOTEST
电话:0755-83318988 手机:18928463988 |
供应3D白光干涉仪国产品牌
SuperViewW13D白光干涉仪以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
结果组成:
1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;
6、微电子表面分析和MEMS表征。
部分参数
Z向分辨率:0.1nm
横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性:0.1nm
表面形貌重复性:0.1nm
台阶测量重复性:0.1% 1σ;准确度:0.75%
SuperViewW13D白光干涉仪在材料科学研究,新型材料制备等方面有着广泛应用,比如测量材料基体和镀膜后表面形貌和粗糙度,测量材料的磨损性能(通过白光干涉仪测量磨损轮廓和粗糙度)。在MEMS测试项目中,表面特性(粗糙度、台阶高)是一个非常重要的项目,目前主要是采用非接触式的光学3D轮廓仪(白光干涉仪)进行测量。
在3C领域,可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;
在LED行业,可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度;
在光纤通信行业,可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;
在集成电路行业,可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行业,可以测量台阶高度和表面粗糙度;
在军事领域,可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。
SuperViewW13D白光干涉仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
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