供应SuperViewW1自动三维表面轮廓仪光学测量

SuperView W1自动三维表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用

在3C领域，可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；

在LED行业，可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；

在光纤通信行业，可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；

在集成电路行业，可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行业，测量台阶高度和表面粗糙度；

在军事领域，测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。

SuperView W1自动三维表面轮廓仪是以白光干涉技术为原理的一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为200×200㎜，局部位移精度可达亚微米级别，Z向扫描电机可扫描10mm范围，纵向分辨率可达0.1nm级别，因此可测非常微小尺寸的器件；测量大尺寸样品时支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um。

结果组成：

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；

3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；

5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；

6、微电子表面分析和MEMS表征。

SuperView W1自动三维表面轮廓仪分辨率0.1μm，重复性0.1nm，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中，可以说只有3D轮廓检测仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。