干式无油耐腐蚀真空泵抽速与流导的关系

不同的干式无油真空泵的真空系统部件的流导可以通过计算、模拟、测量等方法确定，它除了与几何形状有关外，还与气体的流动状态有关。不同部件的流导是可以进行串并联的。

1.根据真空基本方程，可从数学上得到两个较差的结果，即当流导非常大时，真空室的有效抽速可以近似等于泵的抽速；

2.当干式无油真空泵的抽速非常大时，或者流导非常小时，真空室的有效抽速近似等于流导。

上述结果从物理上可能更易理解，从真空室抽气口抽除的气体一定经过流导（即管道、阀门等）才能被干式无油真空泵抽除，只不过被抽除的气体从真空室抽气口向泵口运动过程是从高压向低压的流动，而从泵口被抽除是从低压向高压的基于某种抽气原理的强制流动。

1.如流导非常大，即通过它的气体量不受限制，那么干式无油真空泵的抽气能力就决定于自身的抽速大小，这与泵口直接与真空室相连接是一样的。

2.如果泵的抽速非常大，这也就是相对于泵的抽速流导非常小，此时干式无油真空泵的实际抽气能力并不决定于它的抽速大小而决定于气体通过流导的能力，流导的数值恰为泵的有效抽速。

为了尽量发挥泵的抽气能力，较大限度的加大流导是较为有效的方法，但往往难于实现。而一味加大泵的抽速更不切实际。所以采用流量大的流导和选用抽速大的泵就非常值得权衡。

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