半导体论坛等离子表面处理设备

真空式等离子处理系统CRF-VPO-MC-6L

名称（Name）

真空式等离子处理系统

型号（Model）

CRF-VPO-MC-6L

控制系统（Control system）

PLC+触摸屏

电源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,12.5kw

中频电源功率（MF Power）

2000W/40kHz

容量（Volume）

235L（Option）

层数（Electrode of plies）

6（Option）

有效处理面积（Area）

500（L）*500（W）（Option）

气体通道（Gas）

两路工作气体可选： Ar、N2、CF4、O2

产品特点：处理空间大，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，有效控制设备运行。

可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求。

保养维修成本低，便于客户成本控制。

高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。

应用范围：主要适用于生物医疗行业，印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。

水滴无法渗透过无尘布神奇故事-等离子表面

今天给大家讲一个神奇的故事关于水滴无法渗透过无尘布。PET聚对苯二甲酸乙二醇酯，简称聚酯，别名涤纶、达克纶等，在较宽的温度范围内具有优良的物理机械性能，长期使用温度可达120℃，电绝缘性优良，耐疲劳性、耐摩擦性、尺寸稳定性都很好，是制造无尘布很好的原材料。PET无尘布虽然表面亲水性并不好，但仍然可以透过水珠，水滴接触角1°

我们把PET无尘布样品放入真空等离子表面处理设备中，设定好相关的工艺参数，包括功率、流量、工艺气体等，处理10分钟左右，取出PET无尘布样品再进行水滴接触角测量，令人惊讶的事情就发生了，水滴接触角从1°变成了135°。这就是等离子体聚合现象，我们借助等离子表面处理设备做了一次神奇的操作，在PET无尘布表面形成了一层疏水膜，水滴无法渗透过无尘布！

等离子体是由离子、电子和中性粒子组成的一种呈现电中性物质集合体。在等离子表面处理过程中，等离子体与材料表面撞击时会将自己的能量传递给材料表面的分子及原子，因此产生一系列的物理和化学反应过程。也会通过注入粒子或气体到材料表面引起碰撞、散射、激发、重排、异构、缺陷、晶化及非晶化，以此达到改变材料的表面性能的处理效果 。