半导体厂专用净化酸雾收集设备

酸洗车间的酸雾废气处理：

（1）抑制覆盖法为了抑制酸雾的散发，可加固体覆盖层或泡沫覆盖层于酸表面上。固体覆盖层是在酸洗槽的酸液面上加入固体覆盖层，以抑制酸雾的散发。覆盖层采用耐腐蚀轻质材料，如泡沫塑料块、管及球等；泡沫覆盖层是利用化学分解作用产生的泡沫漂浮在酸液表面，以抑制酸气的散发。目前采用的泡沫有皂荚液、十二烷基酸钠等。

（2）抽风排酸雾对酸洗槽建立酸洗槽密闭排气系统，抽风排酸雾。

（3）酸气的处理方法。

该法可将酸气在填料塔、泡沫塔等废气处理洗涤塔中用水吸收净化。净化效率可达90%左右。它是将酸洗槽和喷淋洗涤槽抽出的酸雾，通过密闭罩及排气罩进入喷淋塔，在喷淋塔中用水洗涤净化。

该法是以稀碱液对酸雾进行吸收处理，常用的吸收剂有氨液、苏打、石灰乳等。苏打液的浓度为2%~6%，对初始浓度小于300~400mg/m3的酸雾，净化率可达93%~95%以上。吸收设备采用喷淋塔或填料塔。吸收设备应进行防腐处理。

过滤法该法以尼龙丝或塑料丝网的过滤器将酸雾截留捕集。

高压静电净化该法是在排气竖管中，利用排气管作为阳极板，管内设置高压电晕线，极线间形成高压静电场以净化通过的酸雾。