晶体生长炉水冷旋转接头

晶体生长炉水冷旋转接头

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料；在硅单晶拉制过程中，由于坩埚轴温度较高，为延长坩埚轴的使用寿命，通常需要对其进行通水冷却。一般采用螺纹连接的水冷旋转接头结构，实现静止的水冷管与旋转的坩埚轴之间冷却水的连接密封，以达到冷却坩埚轴的目的，同时还可以加速晶棒的冷却，提高晶棒的成长时间，提高拉晶效率。