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YP-400CIS EX小型离子溅射仪喷金仪

2023-03-22 16:44:37发布   信息编号:12759020  
公司: 广州利勃机电股份有限公司
联系人: 沈女士(销售人员)
所在地: 广东 - 广州,广州市黄埔区开创大道1936号2418房
价格: 面议
联系:

手机:18520549806

参数YP-400CIS/EX

 

外形尺寸

424*265*260MM

输入电压

220V/50Hz

溅射电压

600V

工作原理

磁控溅射

功率

4507

靶材尺寸

057*0.12MM (AU)

可选靶材

金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材

真空泵

直连式两级旋片式真空泵1心/S

真空室

0128*130MM高强度玻璃

极限真空

1PA(电阻式真空规)

抽气节拍

≤90S

样品杯

00样品杯1个/025样品杯4个/15样品杯6个

样品室进气

自动:高精度微量进气阀

进气接头

O4快拧接头(外径4M,内径2.5MM气管)

江作电流

5-45MA任意可调

颗粒大小

6-10NM

保护功能

过流保护、真空保护

产品说明:

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器。放入样品后可一键搞定;数字式计数器满足精准定时要求。特别适用对膜颗粒大小要求高的场发射扫描电子显微镜。具有成膜均匀,操作简单,所需时间短,过程可控等优点。可以使用Au,Pt,Cr、Al、Cu等靶材,配有高位定性的飞跃真空泵。

特点:

1.同时可以通过更换不同的靶材(金、铂、银等),以达到更细颗粒的涂层。

2.一键式操作,使用方便。

3.真空保护可避免真空过低造成设备短路。

需要镀膜的样品:

1.电子束敏感的样品:

主要包括生物样品,塑料样品等。EM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;

2.非导电的样品:

由于样品不导电,其表面带有“电子陷阱”, 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应,可在样 品表面镀一层金属导电 层,镀层作为一个导电 通道,将充电电子从材 料表面转移走,消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时,溅射材料增加信 噪比,从而获得更好的成像质量。

3.新材料:非导电材料和半导体材料

·创新的低压直流冷态溅射镀膜,避免样品微纳结构热损伤。

·创新的回路控制保证了溅射电流始终固定不变及不受压力变化影响,保证均匀一致的膜厚和很优的镀膜效果。

·溅射电流可预设也可在镀膜过程中实时调节。

·操作容易快捷,自动或手动操作,靶材快速更换。

YP-400CIS EX小型离子溅射仪喷金仪

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